08nm准分子激光器是由作为激光工作物质的氯化氙( xeci )产生的308nm激光器。氯是作为惰性气体的卤素元素氙。在正常情况下,氯和氙不会反应,自然界中也没有氯和氙的化合物。然而,氯可以在高压和强电场的作用下接受氙的电子,形成氯化氙分子。氯化氙短时间内不稳定,很快会分解成氯和氙。这种不稳定分子被称为准分子。不稳定氯化氙准分子激发产生的激光是波长为308nm的紫外激光。